USSR SHOP »
Магазин » ОЖ 03 2016 - A method of pupil shaping for off-axis...
Купить ОЖ 03 2016 - A method of pupil shaping for off-axis...
Описание товара:
A method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography. Способ формирования зрачка для внеосевого освещения в оптической литографии
Ming Chen, Fang Zhang, Aijun Zeng, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang
стр. 20-26
Ming Chen, Fang Zhang, Aijun Zeng, Jing Zhu, Baoxi Yang, Huijie Huang
стр. 20-26