USSR SHOP »
Магазин » ОЖ 04 2016 - Эллипсометрия TiOx-покрытий, осажденны...
Купить ОЖ 04 2016 - Эллипсометрия TiOx-покрытий, осажденны...
Описание товара:
Эллипсометрия TiOx-покрытий, осажденных в магнетронной установке с несбалансированной магнитной системой. Влияние концентрации кислорода и дистанции «магнетрон-подложка»
Нарцев В.М., Аткарская А.Б., Зайцев С.В., Осипенко Н.В., Прохоренков Д.С., Евтушенко Е.И., Шухова В.Г.
стр. 88-94
Нарцев В.М., Аткарская А.Б., Зайцев С.В., Осипенко Н.В., Прохоренков Д.С., Евтушенко Е.И., Шухова В.Г.
стр. 88-94